有較高的放大倍數，一般在20-20萬倍之間連續可調。

 

　　有很大的景深，視野大，成像富有立體感。

 

　　試樣制備簡單。

 

　　對樣品表面的形貌、組成、性質的了解均有較好的適應性。

 

　　掃描電鏡在醫學、材料科學、半導體科學、生物學、地質學、化學等領域有廣泛的應用價值。

 

　　掃描電鏡的樣品不需要進行切片處理。

 

　　掃描電鏡的維護主要有以下幾個方面：

 

　　電子槍的維護：在實驗結束后，關閉電子槍，可延長電子槍的壽命。冷場發射掃描電鏡電子槍需要定時短暫加熱針尖至2500K，以去除所吸附的氣體原子。

 

　　物鏡光闌的維護：掃描電鏡物鏡的光闌離樣品最近，工作狀態下光闌處于加熱狀態，再關掉光闌后需要冷卻半小時才可以關掉冷卻循環水。光闌使用一段時間后容易結碳，影響成像的效果，此時要及時要打開樣品室，清潔光闌。

 

　　樣品的制備要求：由于掃描電鏡的高真空系統，樣品進入交換室之前要仔細檢查，確保沒有易揮發的物質及未粘牢的粉末，破換樣品室的真空度。

 

　　送樣桿和交換室的清潔：掃描電鏡送樣桿和交換室在換樣品時經常暴露在大氣中，容易受到灰塵的污染，降低真空密閉效果，因此要及時清結，以防把灰塵帶到樣品室的真空系統中污染光闌。

 

　　機械泵的維護：經常檢查掃描電鏡機械泵的油液面，看其液面是否在窗口油位刻線的水平上，若在窗口油位刻線的水平下，應馬上添加機械泵油，如果觀察到機械泵窗口油顏色變深，應馬上更換機械泵油。若機械泵出現故障要及時修理，并換上備用泵，以保證真空度。

 

　　循環水的維護：定期檢查掃描電鏡循環水狀況，水位低于警戒線，應馬上添加純凈水，若循環水混濁變質，應馬上更換循環水，防止循環系統堵塞和結垢，影響水循環系統的工作效率。

 

　　掃描電鏡的樣品制備過程簡單，不用切成超薄切片，能夠直接觀察樣品表面的結構，可以從各種角度對樣品進行觀察，景深大，圖像富有立體感，而且圖像的放大范圍廣，分辨率也比較高。